炉内の圧力は、大気圧より低い工業炉に抽出することができます。真空炉は電気加熱を使用し、加熱されたワークピースの表面は酸化せず、脱炭せず、変形が少なく、機械的性質が良好です。真空炉で金属を溶解すると、不純物が除去され、ピンホールが少なくなり、偏析が少なくなり、完成品の品質が向上します。真空炉は、タングステン、モリブデン、タンタル、ニオブ、チタン、耐熱合金鋼の製錬および磁性材料、電気材料、高強度鋼、ステンレス鋼、工具鋼、金型鋼などの高品質、高純度、耐火金属の溶解と加熱に適しています。
真空炉は 1930 年代頃に登場しました。1927 年に米国は電気材料用の真空焼鈍炉を製造しました。1953 年には真空消耗アーク炉がスポンジチタンの溶解に業界で使用されました。真空誘導炉は 1950 年代頃に業界で広く使用されました。1960 年に米国は油焼入れ真空炉を開発しました。
真空炉は、一般に、炉、電熱装置、密閉炉殻、真空システム、電源システム、温度制御システムで構成されています。密閉炉殻は炭素鋼またはステンレス鋼で溶接され、取り外し可能な部品の接合面は真空シール材でシールされています。加熱後の炉殻の変形やシール材の劣化を防ぐために、炉殻は通常、水冷または空冷で冷却されます。炉は密閉炉殻の中にあります。炉の目的に応じて、抵抗器、誘導コイル、電極、電子銃など、さまざまな種類の加熱要素が炉内に設置されています。金属を溶解するための真空炉には、炉内にるつぼが装備されており、材料のロードとアンロード用の自動注入装置や機械アームも装備されています。真空システムは、主に真空ポンプ、真空バルブ、真空ゲージで構成されています。
真空炉は、発熱体によって、真空抵抗炉、真空誘導炉、真空アーク炉、真空消耗アーク炉、電子ビーム炉（電子衝撃炉とも呼ばれる）、プラズマ炉に分類されます。